工位数
Number operating positions |
10 |
预真空室数
Number of fore-vacuum chamber |
2 |
工作室极限压力（Pa）
Ultimate pressure of chamber |
6×10-1 |
预真空室极限压力（Pa）
Ultimate pressure of fore-vacuum chamber |
2.6×103 |
各工作室抽气速率（L/S）
Pumping speed of each chamber |
2 |
泵转速（r/min）
Rotational speed of pump |
500 |
用油量（L）
Consumption of oil |
12 |
电机功率（Kw）
Motor power |
1.5 |
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