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型号
Mode
技术参数
Technical Data
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P431-2 |
P436-1 |
P431-1 |
P432-1 |
主极限真空度
Ultimate Vacuum |
≤2×10-6Pa |
10-6Pa |
≤3×10-7Pa |
≤3×10-8Pa |
烘箱真空
Baking Chamber Vacuum |
≤1×10-1Pa |
5 Pa |
2 Pa |
5 Pa |
烘箱工作空间
Baking Chamber Dimension |
Ф500×1200 mm |
Ф700×700 mm |
Ф460×500 mm |
Ф200×1200 mm |
真空系统
Vacuum System |
分子泵系统
Turbo Pump System |
分子泵系统
Turbo Pump
System |
离子泵系统
Ion Pump System |
冷凝泵系统
Cryopump System
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******温度
Max.Temperature |
650℃ |
600℃ |
600℃ |
600℃ |
温度均匀性（轴向）
Temperature Uniformity |
≤±5℃三点测温
(3 point measurement) |
±10℃ |
±5℃ |
≤±5℃三点测温
(3 point measurement) |
抽气速度
Pumping Speed |
≥450 L/S |
≥450L/S |
≥450L/S |
≥450L/S |
加热功率
Heating Power |
12 KW |
18 KW（10可调，8固定）
(10 adjustable,8 fixed) |
9 KW |
10 KW |
总功率
Total Power |
15 KW |
22 KW |
13 KW |
15 KW |
加热方式
Heating Mode |
外加热
Outside Heating |
外加热
Outside Heating |
内加热
Inside Heating |
内加热
Inside Heating |
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