- 产品用途
- Product Applications
- 电子束蒸发源是一种真空镀膜设备，通过磁场聚焦高能电子束轰击水冷铜坩埚内的膜材，使材料局部汽化（温度可达3000℃以上），蒸汽在基板表面沉积成膜。
- 主要应用领域
- 冶金行业
- 化工领域
- 机械制造
- 电子科技
- 产品特点：Product Features
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- ●RK DZQ270-1A型电子枪为开放式电子枪，可以和任意穴位坩埚配用;
- ●采用270度内藏式灯丝，有效避免了熔料对灯丝的污染，提高了灯丝的寿命;
- ●配有专用水冷结构对永磁体进行冷却保护，确保束流长时间稳定工作;
- ●维护保养简捷方便，配有更换灯丝的专用工装。
技术参数
Technical Parameters
●加速电压：-6KV～-10KV
●最大电子束流：1A
●最高功率：10KW
●电子束偏转角：270°
●电子束扫描范围：15mm×15mm(X/Y)
●冷却水速率：最大速度8L／分(水温在15℃～25℃，压差不低于0.1MPa，最高压力不高于0.3MPa)
●气密性：漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
●工作真空度范围：5×10-4Pa～5×10-2Pa
●外形尺寸：W148×H158×Dl84(mm)
●重量：约10Kg
