- 产品用途
- Product Applications
- 材料装载与定位：用于放置待蒸发的膜材（如金属或化合物），并通过机械传动系统调整坩埚位置，确保电子束精准轰击目标区域。
- 非接触加热支持：通过磁场引导电子束轰击坩埚内材料，实现局部高温汽化（可达3000℃以上），避免传统电阻加热导致的坩埚污染问题。
- 热管理：水冷铜坩埚设计可快速导出热量，防止坩埚过热变形，同时维持材料蒸发过程的稳定性
- 主要应用领域
- 冶金行业
- 化工领域
- 机械制造
- 电子科技
- 产品特点：Product Features
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- ●'RK GGC-D10型坩埚传动装置为外置式传动系统；
- ●整个装置分为坩埚水冷部分和传动部分(如图)；两部分结构模块化构成两个整体，对安装、拆卸、维护、修理特别方便简捷。
- ●可承载实际情况下的任意穴位的坩埚；
- ●满足传动轴动密封和磁流体密封互换，任意选用；
- ●坩埚可从真空室体上方取出，方便清洁维护；
- ●强大扭矩有效防止步进电机丢步情况发生。
技术参数
Technical Parameters
●安装条件：竖直安装；真空室底板开孔为φ40mm～φ60mm;
●采用减速电机传动：减速器减速比为1:32，电机为步进电机；
●传动方式：中心主轴传动；
●冷却水速率：10L/分～20L/分(水温需在15℃～25℃)；
●转动扭矩：74Nm。
