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●本设备为连续卧式磁控溅射设备,通过磁控溅射的方式,在基材表面沉积各种材料薄膜; ●由三个腔室组成,可实现连续镀膜,冷却水接触面大,具备来回溅射功能; ●各腔室设置有观察窗口,能方便的看到工件及蒸发源状态; ……
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